濕法蝕刻工藝對銅及其合金蝕刻劑的簡述

       濕（shī）蝕刻法已經廣（guǎng）泛應用（yòng）於生產各（gè）微元件。操作的的過程較易操作。工藝過（guò）程中最重要的是選擇（zé）合適的溶液（即生產時用的（de）蝕刻劑）。它的濃度會影響產品的表麵光潔度和蝕（shí）刻速率。銅及其合金應用於（yú）各行業，特（tè）別（bié）是電子（zǐ）行（háng）業（yè）的生產。基於銅優異（yì）的導熱性和導電性，易於製造和以及銅的強度優良，因（yīn）此得到了（le）廣泛的應（yīng）用。

       用於銅濕法蝕刻的蝕刻劑

       氯化鐵是濕蝕刻過程中應用最廣泛的蝕（shí）刻劑。優點（diǎn）是蝕刻（kè）速率高，且易於再生（shēng），對環（huán）境不會有多次傷害。但其多功能性(如對錫鉛的耐腐蝕劑)、低溶解銅容（róng）量和化學（xué）再生後（hòu）的複雜溶液，鐵侵蝕銅表（biǎo）麵時（shí），三價鐵離子將銅氧化（huà）成（chéng）氯化銅，形成綠色氯（lǜ）化鐵，如下：

       二氯化鐵 銅->二氯化鐵 氯化銅

       銅的濕蝕刻條件是溫度為50-55℃，蝕刻劑濃度為40-42倍。鹽（yán）酸(HCl)加入三氯（lǜ）化鐵，以提高銅（tóng）的濕（shī）腐蝕性。

       在銅（tóng）的濕蝕刻過程，需控製兩個（gè）參數（shù），即比例和（hé）pH值（zhí）。pH值保持在8-8.5之間.比重為1.18-1.20。建議將溫度保持在50℃，以獲得高蝕刻（kè）速（sù）率。